可選版本⇨ | Carrrier.- HS100.xy.C | Carrier. H S100.xyRz.C |
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基本訊息 | ||
Motion Direction 動作方向 | X, Y, 方向 | X, Y, 方向+ Rz 旋轉 |
Size 產品尺寸 | 150 mm × 150 mm × 30 mm | |
Main Material 主體材料 | 鋁合金/ 不銹鋼 | |
Travel range 運動行程 | 100 um × 100 um | 100 um × 100 um Rz:1 mrad |
Upgrade options 升級選項 | 擴展可選:NM, 絕對無磁性版本;UHV,超高真空版本; | |
Hollow Through Hole 中空透孔 | 66 mm × 66 mm | |
運動 & 定位 | ||
線性度誤差(z方向運動) | 0.035% | |
Motion Resolution 運動分辨率 | 1nm / 0.2nm | |
Repeatability 運動重複精準度 | ± 10 nm | |
Rigidity 剛性 | 2 N/ um | |
Resonance Frequency 共振頻率(空載/2.5 kg) | 420 Hz/ 130 Hz | |
Max. Load 最大負載 | 3.5 kg | |
Encoder Type 閉環感應器(閉環版本) | 電容式 | |
Max Operating Voltage 驅動電壓 | 150 V | |
其他資訊 | ||
Recommended Operation Temperature 推薦使用溫度 | 15 ~ 40 °C | |
Weight 重量 | 1Kg |
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