SPM300系列半導體參數測試儀

基於拉曼光譜法的半導體參數測試儀，具有非接觸性、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析，空間分辨率＜800nm （典型值），也可以對樣品進行掃描從而對整個面進行均勻性分析。設備具有智慧化的軟體，可對資料進行擬合計算，直接將載子濃度、晶化率、應力大小或分佈等結果直觀的展現給使用者。系統穩定，重複性好，可用於實驗室檢驗或產線監測。

SPM300系列半導體參數測試儀應用

．雜質和缺陷分析
．應力分析
．晶化率分析
．多晶矽晶粒粒徑分析
．AlGaN和InGaN組分分析
．結溫分析
．載子濃度分析

SPM300系列半導體參數測試儀組成

① 光路接口盒：內建常用雷射及雷射片組，拓展雷射含有自由光及單模光纖輸入；
② 光路轉向控制：光路轉向控制可向下或向左，與原子力、低溫、探針台等設備連用，可升級振鏡選項
③ 明視場相機：明視場相機代替目鏡
④ 顯微鏡：正置科研級金相顯微鏡，標配落射式明暗場照明，其它照明方式可升級
⑤ 電動位移台：75mm*50mm 行程高精度電動載物台，1μm 定位精度
⑥ 光纖共聚焦耦合：光纖共聚焦耦合為可選項，提高空間分辨率
⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合：標配CCD- 狹縫耦合方式，可使用光譜儀成像模式，高光通量
⑧ 光譜CCD：背照式深度耗盡型光譜CCD相機，200-1100nm 工作波段，峰值QE ＞ 90%
⑨ 320mm 光譜儀：F/4.2高光通量影像校正光譜儀， 1*10⁻⁵ 雜散光抑制比
SPM300系列半導體參數測試儀型號

型號	描述
SPM300-mini	基礎半導體參數分析儀，只含一路532nm 雷射，常規正置顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移台
SPM300-SMS532	多功能型半導體參數分析儀，含532nm 雷射，常規正置顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移台，可升級耦合最多4 路雷射
SPM300-OM532	開放式半導體參數測試儀，含532nm 雷射，客製化開放式顯微鏡，光譜儀，高精度XYZ 位移台，可升級耦合最多4 路雷射

SPM300系列半導體參數測試儀主要參數

專案	詳細技術規格
光源	標配532nm，100mW 雷射器，其他雷射可選，最多耦合4 路激光，可電動切換，功率可調節
光譜儀	320mm 焦距影像校正光譜儀，光譜範圍90-9000cm⁻¹,
光譜分辨率	2cm⁻¹
空間解析度	<1μm
樣品掃描範圍	標配75mm50mm，最大300mm300mm
顯微鏡	正置顯微鏡，明場或暗場觀察，附10X,50X,100X 三顆物鏡；開放式顯微鏡可選
載子濃度分析	測試範圍測試範圍1017 ~ 1020 cm-3，重複性誤差<5%
應力測試	可直觀給出應力屬性（拉力/ 張力），針對特種樣品，可直接計算應力大小，應力均勻性分析（需額外配置電動位移台）, 應力解析精度0.002cm⁻¹
晶化率測試	可自動分峰，自動擬合，自動計算出晶化率，並且自動計算晶粒大小和應力大小