SPM900系列微波光電導衰減壽命測試儀

當在顯微鏡上加載微波光電導衰減壽命測試模組，就可以得到微區下半導體器件的微波光電導衰減壽命分佈信息，這對於微小型器件的研究及質量控制十分重要。雷射掃描微波光電導衰減壽命成像儀基於時間相關單光子計數進行設計，包含顯微鏡主體，雷射光源，光子計數偵測器，單色儀以及自動XY樣品台等部分。位於顯微鏡上的雷射光源用於樣品的激發，透過控制樣品台的移動，可以進行微區單點微波光電導衰減壽命測量和微波光電導衰減壽命成像。

SPM900系列微波光電導衰減壽命測試儀應用

外延ZnS 薄膜半導體
本徵帶- 淺雜質複合
半導體中施主- 受主對複合
深能階複合
III-V 族載子雜質俘獲過程研究
非輻射中心的電子弛豫及複合機制研究
半導體外延片缺陷和雜質檢測
SPM900系列微波光電導衰減壽命測試儀主要參數

系統性能指標
光譜掃描範圍	200-900nm
*小時間分辨率	16ps
壽命測量範圍	500ps-1ms（視雷射而定）
小尺寸空間分辨率	≤ 1μm@100X 物鏡@405nm 皮秒脈衝雷射
大尺寸掃描	可適用4 吋、6 吋、8 吋樣品
配置參數：
脈衝雷射	375nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：30ps，平均功率1.5mW@50MHz 405nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：25ps，平均功率2.5mW@50MHz 450nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：50ps，平均功率1.9mW@50MHz 488nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：70ps，平均功率1.3mW@50MHz 510nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：75ps，平均功率1.1mW@50MHz 635nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：65ps，平均功率4.3mW@50MHz 660nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：60ps，平均功率1.9mW@50MHz 670nm 皮秒脈衝雷射，脈寬：40ps，平均功率0.8mW@50MHz 其他皮秒或奈秒脈衝雷射器具體視材料及激發波長而定
科學研究級正置顯微鏡	落射明暗場鹵素燈照明，12V，100W 5 孔物鏡轉盤，標配明場用物鏡：10×，50×，100× 監控CCD：高清彩色CMOS 攝影機，像元尺寸：3.6μm3.6μm，有效像素：1280H1024V，掃描方式：逐行，快門方式：電子快門
小尺寸掃描用電動位移台	高精度電動XY 樣品台，行程：7550mm（12080mm 選購）， *小步進：50nm，重複定位精度＜ 1μm
大尺寸掃描用電動位移台	XY 軸行程200mm/250mm，單向定位精度≤ 30μm，水平負載：30Kg；
光譜儀	320mm焦距影像校正單色儀，雙入口、狹縫出口、CCD出口，配置三塊68×68mm大面積光柵，波長準確度：±0.1nm，波長重複性：±0.01nm，掃描步距：0.0025nm ，焦面尺寸：30mm(w)×14mm(h)，狹縫縫寬：0.01-3mm 連續電動可調偵測器：冷凍紫外線可見光電倍增管，光譜範圍：185-900nm（標配，可擴展）
光譜CCD ( 可擴充PL mapping）	低噪音科學級光譜CCD（LDC-DD），晶片格式：2000x256，像元尺寸：15μm15μm, 偵測面：30mm3.8mm，背照式深度耗盡晶片，低暗電流，低冷氣溫度-60℃ @25℃環境溫度，風冷，高量子效率值>95%
時間相關單光子計數器 (TCSPC）	時間解析度：16/32/64/128/256/512/1024ps...33.55μs，dark counting time＜ 10ns， *高65535 個直方圖時間窗口，瞬時飽和計數率：100Mcps，支援穩態光譜測試；
OmniFlμo-FM 壽命成像專用軟體	控制功能：控製樣品平移台移動，透過顯微鏡的明場光學影像定位到適當區域，框選掃描區域進行掃描，逐點取得發光衰減曲線，即時產生發光影像等數據處理功能：自動掃描所獲得的壽命成像數據，逐點進行多組分發光壽命擬合 ( 組分數小於等於4），逐點擬合所得的發光強度、發光壽命等資訊產生偽彩色影像顯示影像處理功能：直方圖、色表、等高線、截線分析、3D 顯示等
操作電腦	Windows 10 作業系統