自動化顯微成像模組 Automatic Microscope Module

自動化顯微成像模組 Automatic Microscope Module針對半導體積體電路製程線從表面缺陷檢查到圖形尺寸測量等各環節自動化視覺偵測需求。

產品特性與核心技術
雷射自動聚焦：
• 自主研發的雷射輔助離焦量感測器。
• 可在無圖案晶圓上精確地自動對焦和表面追蹤。
• 輔以圖形邊緣識別，實現雙模式自動調焦。
明場成像和照明系統
• 自主研發的小型化科勒照明系統。
• 照明視野均勻、無暗角，成像視野中心和邊角均有高對比和解析度。
全自動操作：
• 全軟體控制，自動調焦、尋區、切換物鏡…。
雷射自動聚焦：

物鏡	10x， NA=0.28	20x， NA=0.40	50x， NA=0.55	100x， NA=0.8
離焦量 z 分辨率	< 1 µm	< 0.5 µm	< 0.2 µm	< 0.06 µm
量程	>±1.5 mm	>±0.3 mm	>±50 µm	>±30 µm
雷射光斑尺寸（焦點處）	~2 µm	~2 µm	~1 µm	~1 µm
測量時間（刷新頻率）	< 20 ms (50 Hz），可調式最高 100 Hz
雷射波長	808 nm (<1 mW，波長可選 650 nm)
供電	5V，3A
通訊介面	USB 3.0

顯微成像：

物鏡		5x， NA=0.12	10x， NA=0.25	20x， NA=0.40	50x， NA=0.55	100x， NA=0.9
視野（4:3 相機）	1/2"	2.0×1.5 mm	1.0×0.7 mm	0.50×0.38 mm	0.20×0.15 mm	0.10×0.75 mm
	2/3"	3.0×2.3 mm	1.5×1.1 mm	0.76×0.57 mm	0.30×0.23 mm	0.15×0.11 mm
	1"	4.0×3.0 mm	2.0×1.5 mm	1.0×0.7 mm	0.40×0.30 mm	0.20×0.15 mm
典型空間分辨率		2 μm	1 μm	0.7 μm	0.5 μm	0.4 μm
照明均勻性中心/邊緣亮度比值		< 0.64	< 0.92	< 0.85	< 0.83	< 0.87
供電		5V，2A
資料介面		USB3.0