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全晶圓半導體參數非接觸測試解決方案
發布時間: 2024-10-28 11:47
Zolix
全晶圓半導體參數非接觸測試解決方案Full-wafer Noncontac Measuring Solutions for Semiconductor Parameters
全晶圓半導體參數非接觸測試解決方案 Full-wafer Noncontac Measuring Solutions for Semiconductor Parameters 自主研發的雷射自動聚焦、自動化顯微成像、寬場螢光成像、共焦光致發光光譜和共焦拉曼光譜等核心測試技術和模組，聯合白光干涉等其它3D測量技術，根據客戶的需求靈活組合對應的技術搭配，為客戶開發客製化的半導體參數測試解決方案，獲得從粗糙度、圖形尺寸和膜厚等幾何參數，到位錯、層錯等缺陷，再到發光波長、壽命、載子濃度、組成和應力等物理參數的綜合測量，實現無需任何前處理的全晶圓無損自動化檢測。
服務熱線：886-2-2655-2200 業務咨詢：151 / 維修校正：185
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