三軸XY+Z系統

BUSCH 的三軸系統模組透過 X 軸整合於 XY 底台的結構設計，加上 Z 軸伺服驅動，提供長行程、極高剛性與精度、及靈活配置可能。適合高精度、高動態要求的專業領域應用，如精密製程、光學雷射加工、自動化裝配等領域。這款XY+Z系統模組為三軸定位系統，其中 X 軸與 XY 底台整合，Z 軸則為伺服驅動，平台整體結構採用天然花崗岩打造，具備極高剛性與精密幾何調整。
• XY 採線性馬達驅動（iron core），Z 軸則為伺服馬達
• 測量系統為增量光學尺，解析度可達 1–100 nm；可選絕對尺、Invar 或 Zerodur 材料以強化熱穩定性
• 剛性高的橫樑設計使 Z 軸穩定性佳，Z 軸位置可變，可另外添加多個 Z 軸
• 結構變化靈活：可搭配鋼結構機架或控制器，也可選氣浮軸承等高級配置

三軸XY+Z系統特點

高剛性結構：花崗岩與剛性橫樑確保低變形與高穩定性
長行程、高動態：X/Y 軸最大行程達 1 m，最高加速度可達 10 m/s²
高精度定位：解析度達 1 nm，重複定位精度優異
彈性客製：多種尺系統、額外軸配置、氣浮與機械導向任選
整合易用：控制器、鋼架、氣浮等功能可出廠即整裝完畢

三軸XY+Z系統應用

需要 X 軸長行程與高速度、Z 軸多位置調整的精密應用
三軸聯動定位，兼具剛性與行程需求的雷射加工或組裝平台
半導體、光電製程或自動化檢測中，高精度 XYZ 定位需求

三軸XY+Z系統主要參數

驅動系統	鐵核線性馬達XY/ 伺服馬達Z
系統解析度	100 - 1 nm
重複精度	Depending on resolution and controller
行程X	200 - 1.000 mm
行程 Y	200 - 1.000 mm
行程Z	100 - 300 mm
最高速度	1 m/s
最大加速度	10 m/s²