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壓電六軸平台X-BOT-120
    發布時間: 2019-12-29 17:15    
Micronix
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壓電六軸平台X-BOT-120 ∣ Micronix

壓電六軸平台X-BOT-120是一款高度為70毫米的微型“六軸運動平台”,用於以奈米分辨率進行6個自由度的精密部件的定位和調整。X-BOT-120採用6個奈米定位器的創新專有排列,以極其緊湊的外形實現了大運動範圍。 絕對編碼器回饋消除了加電時的歸位,這通常不僅耗時,而且還會破壞精密應用。用於360° z軸旋轉的選用旋轉台PR-32L可整合在承載平台下方。提供HV和UHV以及非磁性版本。 可依要求提供客製行程範圍。

壓電六軸平台X-BOT-120 特點

.行程: ±6 XY, +3.5/-6 Z, +7°/-9° Rx, ±9° Ry, ±6° Rz
.光學尺解析度: 10 nm
.重複定位精度: ± 50 nm / ± 1 µrad
.負載: 500 g (Vertical Orientation)
.最高速度: 5 mm/s ; 3 °/s (MMC-110)
.中心高度: 70 mm
壓電六軸平台X-BOT-120
服務熱線:886-2-2655-2200  業務咨詢:151 / 維修校正:185
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