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VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀
    發布時間: 2020-04-30 14:59    
J.A.Woollam
J.A.Woollam
VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀以M-2000為主體，實現了快速大面積掃描，寬廣的光譜範圍適合各種大面積薄膜的量測，最大尺寸可達1.1x1.5m，光譜範圍可達245-1690nm。
VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀特點：
  • 大面積尺寸樣品膜厚量測，最大可達1.1 x 1.5 m
  • 均勻性掃描適用各種材料
  • UV-VIS-IR波長可選
  • 智慧型使用介面，快速定義量測區域欲測試點
  • 內建完整model，快速因應各式材料薄膜
Theta-SE橢圓儀 應用：
  • VCSEL量測
VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測儀
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