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SmarAct-精密量測系統​


 SmarAct主要生產奈米級精密位移平台與相應量測系統，位移平台包含：單軸向平台、組合式機械手、類六軸平台與微型夾爪；精密量測系統包含：光纖式干涉儀、奈米探針系統(Probe Station)、光學尺&編碼器(Encoder)、非接觸式振動計

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